一、概念

 1、潔凈室相關概念

  潔凈室是空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應減少室內誘入、產生及滯留粒子。室內其它有關參數如溫度、濕度、壓力等要求進行控制。

2、潔凈室的分類

（1）按潔凈度級別劃分為：1級、2級、3級、4級、5級、6級、7級、8級、9級。9級為最低級別。

（2）按氣流組織分，潔凈室可分為三類

單向流（層流）潔凈室：沿單一方向呈平行流線并且橫斷面上風速一致的氣流。其中與水平面垂直的單向流是垂直單向流，與水平面平行的單向流是水平單向流。

亂流（非單向流）潔凈室：凡不符合單向流定義的氣流的潔凈室。

混合流潔凈室：單向流和非單向流組合的氣流的潔凈室。

3、潔凈室的檢測狀態可分為三類：

（1）、空態

設施齊全的潔凈室，所有管線接通并運行，但無生產設備、材料及生產人員。

（2）、靜態

 已全部建成的設施齊備的潔凈室中，安裝完生產設備并按業主供應商商定的方式試遠轉，但場內無生產人員。

（3）、動態

設施處于按規定方式運行的狀態，并有規定的人員在場以規定的方式工作。

4、潔凈室與一般通風空調系統的區別

潔凈室空調是空調工程中的一種，它不僅對室內空氣的溫度、濕度、風速有一定要求，而且對空氣中的含塵粒數、細菌濃度等均有較高的要求。因此它不僅對通風工程的設計施工有特殊要求，對建筑布局、材料選用、施工工序、建筑做法、水暖電通及工藝本身的設計、施工均有特殊的要求與相應的技術措施，其造價也相應提高。

潔凈空調與一般空調的區別：

（1）主要參數控制：一般空調側重溫度、濕度、新鮮空氣量的供給，而潔凈室空調則側重控制室內空氣的含塵量、風速、換氣次數。在溫濕度有要求的房間，它們也是主要控制參數。生物潔凈室對細菌含量也是主要的控制參數之一。

（2）空氣過濾手段：一般空調有的只有粗效一級過濾，要求較高的是粗效中效二級過濾處理。而潔凈空調則要求三級過濾，即粗、中、高效三級過濾，或粗、中、亞高效三級過濾，生物潔凈室除送風系統有三級過濾外，在排風系統為了消除動物的特殊臭味及避免對環境的污染依據不同情況尚設二級高效過濾或濾毒吸附過濾。

（3）室內壓力要求：一般空調對室內壓力無特殊要求，而潔凈空調為了避免外界污染空氣的滲入或不同生產車間不同物質的相互影響，對不同潔凈區的正壓值均有不同的要求。在負壓潔凈室內尚有負壓度的控制要求。

（4）潔凈空調系統材料和設備的選擇、加工工藝、加工安裝環境、設備部件貯存環境，為了避免被外界污染，均有特殊的要求。這也是一般空調系統所沒有的。

（5）對氣密性的要求：一般空調系統，對系統的氣密性，滲氣量雖有要求。但潔凈空調系統的要求要比一般空調系統高得多，其檢測手段，各工序的標準均有嚴格措施及檢測要求。

（6）對土建及其它工種的要求。一般空調房間，對建筑布局、熱工等有要求，但對選材及氣密性要求不是很注重。而潔凈空調對建筑質量的評價除一般建筑的外觀等要求外，則側重于防塵、防起塵、防滲漏。在施工工序安排及搭接上要求很嚴格，以避免返工，產生裂縫造成滲漏。它對其它工種的配合、要求也很嚴格，主要均集中在防止滲漏，避免外部污染空氣滲入潔凈室及防止積塵對潔凈室的污染。

5、潔凈室的竣工驗收

   潔凈室竣工以后和投產以后都需要進行性能測定和驗收，在系統大修或更新時也要進行全面測定。在測定前，對潔凈室的概況必須全面了解。主要內容包括：凈化空調系統和工藝布置的平、剖面圖及系統圖；對空氣環境條件（潔凈度級別，溫、濕度，風速等）的要求；空氣處理方案；送回風、排風量及氣流組織；人、物凈化方案；潔凈室的使用情況；廠區及其周圍污染情況等。

潔凈室的竣工驗收一般由建設方牽頭，承包商、工程監理單位、設計單位等各方共同參與，進行工程質量的全面檢查、系統調試和檢測。潔凈室竣工驗收應在各項工程經外觀檢查、單機試運轉、系統聯合試運轉后進行。

潔凈室竣工驗收的外觀檢查應符合以下要求：

（1）各種管道、自動滅火裝置及凈化空調設備（空調器、風機、凈化空調機組、高效空氣過濾器和空氣吹淋室等）的安裝應正確、牢固、嚴密，其偏差應符合有關規定。

（2）高、中效空氣過濾器與支撐框架的連接及風管與設備的連接處應有可靠密封。

（3）各類調節裝置應嚴密、調節靈活、操作方便。

（4）凈化空調箱、靜壓箱、風管系統及送、回風口無灰塵。

（5）潔凈室的內墻面、頂棚表面和地面，應光滑、平整、色澤均勻，不起灰塵，地板無靜電現象。

（6）送、回風口及各類末端裝置、各類管道、照明和動力線配管以及工藝設備等穿越潔凈室時，穿越處的密封處理應嚴密可靠。

（7）潔凈室內各類配電盤、柜和進入潔凈室的電氣管線、管口應密封可靠。

（8）各種刷涂、保溫工作應符合有關規定。

 

 

二、檢測方法及結果判定

1、風量或風速的測試：

（1）儀器設備及環境

測量儀器：葉輪風速儀、熱球風速儀、畢托管、微壓計、風量罩。

環境溫度：常溫或設計溫度下。

（2）抽樣：對有設計要求的區域進行檢測。

（3）技術要求

風量風速檢測必須首先進行，凈化空調各項效果必須是在設計的風量風速條件下獲得。

①亂流潔凈室：

系統的實測風量值應大于各自的設計風量值，但不應超過20%。

實測新風量和設計新風量之差，不應超過設計新風量的±10%。

室內各風口的風量與各自設計風量之差均不應超過設計風量的±15%。

②單向流（層流）潔凈室：

實測室內平均風速應大于設計風速，但不應超過20%。

總實測新風量和設計新風量之差，不應超過設計新風量的±10%。

（4）操作過程及判定

①亂流潔凈室：

a、對于不安裝過濾器的風口，可按綜合效能普通通風空調風口風量測試的方法進行。

b、對于安有過濾器的風口，根據風口形式可選用輔助風管，即用硬質板材做成與風口內截面相同、長度等于2倍風口邊長的直管段，連接于過濾器風口外部，在輔助風管出口平面上，按最少測點數不少于6點均勻布置測點，用熱球風速儀測定各點風速，以風口截面平均風速乘以風口凈截面積確定風量。

c、對于安有同類擴散板的風口，可以根據擴散板的風量阻力曲線和實測擴散板阻力，查出風量，測定時用微壓計和畢托管，或用細橡管代替畢托管，但都必須使測孔平面與氣流方向垂直，使測值正確反映靜壓值。

d、用風罩法測量風量：

用風量罩測定各風口風速時，其相應的出風風速為：

Vs=

式中：Vs------各終端過濾器或送風散流器的平均送風風速，m/s

      Qs------各終端過濾器或送風散流器的送風量，m3/s

      As------送風口出風面積，m2

②單向流（層流）潔凈室

單向流潔凈室采用室截面平均風速和截面積乘積的方法確定送風量，其中垂直單向流（層流）潔凈室的測定截面取距地面0.8m的水平截面；水平單向流（層流）潔凈室取距送風面0.5m的垂直截面，截面上測點間距不應大于2m，測點數應不少于10個，均勻布置，儀器用熱球風速儀。

③測定風管內風量：

a、對于風口上風側有較長的支管段且已經或可以打孔時，可以用風管法確定風量，測定斷面距局部阻力部件距離，在局部阻力部件后不少于5倍管徑或5倍大邊長度。

b、對于矩形風管，將測定截面分成若干個相等的小截面，每個小截面盡可能接近正方形，邊長最好不大于200mm，測點設于小截面中心，但整個截面上的測點數不宜少于3個。

對于圓形風管，應該按等面積圓環法劃分測定截面和確定測點數。具體可按綜合效能普通通風空調風管法測量風量的方法進行。

2、室內靜壓差的測試

（1）儀器設備及環境

測量儀器：傾斜微壓計、數字微壓計等。

環境溫度：常溫或設計溫度下。

（2）抽樣    對有設計要求的各個相鄰區域實施檢測。

（3）技術要求

靜壓差檢測結果應符合下列規定：

①相鄰不同級別潔凈室之間和潔凈室與非潔凈室之間的靜壓差應不小于5Pa。

②潔凈室與室外靜壓差應大于10Pa。

③潔凈度高于100級的單向流（層流）潔凈室在開門狀態下，在出入口處的室內側0.6m處不應測出超過室內級別上限的濃度。

（4）操作過程及判定

①將所有的門關閉，將測定用膠管（口徑最好在5mm以下）從墻壁上的孔洞伸入室內，在離壁面不遠處垂直于氣流方向設置，周圍無阻擋，氣流擾動最小。

②靜壓差的測定應從平面上最里面的房間，通常也就是潔凈度級別最高的房間與其緊鄰的房間之間的壓差測起，依次向外測定，直至測得最靠外的潔凈室與周圍附屬環境之間、與室外環境之間的壓差。

③對于潔凈度高于5級的單向流（層流）潔凈室，還應測定在門開啟狀態下，離門口0.6m處的室內側工作面高度的粒子數。

（5）檢測時的注意事項

在進行潔凈室靜壓差檢測之前，必須先驗證在潔凈室或潔凈設施正常工作時，應該關閉的門全部關閉條件下的送風量與回風量、排風量是否與規定風量相符。若達不到標準的要求，應重新調整新風量、排風量，直至合格為止。

3、空氣過濾器的泄露

（1）儀器設備及環境

 測量儀器： 塵埃粒子計數器 、氣溶膠發生器。

環境溫度：常溫或設計溫度下。

（2）抽樣 

高效過濾器本體在進入現場前，生產廠家應按規定進行性能試驗，并提供合格證，在單向流潔凈室對安裝的高效空氣過濾器應該逐臺進行檢漏，亂流潔凈室，對于7級或更低級別的潔凈室，只要潔凈室達到了所要求的空氣潔凈度級別，就可以不進行檢漏。

（3）技術要求

檢漏的結果要符合下列條件：

由受檢過濾器下風側測到的漏泄濃度換算成透過率，對于高效過濾器，應不大于過濾器出廠合格率的2倍，對于超高效過濾器，應不大于出廠合格透過率的3倍。

（4）操作過程及判定

過濾器的檢漏是指安裝完成的空氣過濾器的檢漏，適用于空態或靜態的潔凈室。

對于安裝于送、排風末端的高效過濾器，應用掃描法進行過濾安裝邊框和全斷面檢漏，掃描法有檢漏儀法（光度計法）和采樣量最小為1L/min的粒子計數器法兩種，這里采用的是粒子計數器法檢漏。

①被檢過濾器必須已測過風量，在設計風速的80%一120%之間運行。

②采用粒子計數器檢漏高效過濾器，其上風側應引入均勻濃度的大氣塵或其他氣溶膠塵的空氣。對大于等于0.5μm的塵粒，濃度應大于或等于3.5×105pc/m3;或對大于或等于0.1μm塵粒，濃度應大于或等于3.5×107pc/m3，若檢測D類高效過濾器，對大于或等于0.1μm塵粒，濃度應大于或等于3.5×109pcm3。    

③檢漏時將采樣口放在距離被檢過濾器表面2-3cm處，以5-20mm/s的速度移動，對被檢過濾器整個斷面、封頭膠和安裝模框和安裝框架處進行掃描。在掃描過程中，應對計數突然遞增的部位進行定點檢驗，發現有滲漏現象，即用硅橡膠進行補漏或更換高效過濾器。

4、空氣潔凈度等級

（1）儀器設備及環境

測量儀器：塵埃粒子計數器。

環境溫度： 潔凈室（區）的溫度和相對濕度應與其生產及工藝要求相適應。

（2）采樣點的位置及數量

①測定潔凈度的最低限度采樣點數按下表的規定確定，表中的面積A：對于單向流（層流）潔凈室，是指送風面積；對于亂流潔凈室，是指房間面積。

 a、最低限度采樣點數NL

 

 

最低限度采樣點數NL

測點數	2	3	4	5	6	7	8	9	10
潔凈區面積（m2）	2.1～6.0	6.1～12.0	12.1～20.0	20.1～30.0	30.1～42.0	42.1～56.0	56.1～72.0	72.1～90.0	90.1～110.0
注：1、在水平單向流時，面積A為與氣流方向呈垂直的流動空氣截面的面積     2、最低限度的采樣點數NL=A0.5計算（四舍五入取整數）

b、潔凈度測點布置原則是：

多于5點時可分層分布，但每層不少于5點。

5點或5點以下時可布置在離地0.8m高平面的對角線上，或該平面上的兩個過濾器之間的地點，也可以在認為需要布點的其他地方。

②采樣量的確定

a、測定潔凈度的每次最小采樣量按下表的規定確定：

                   每次采樣的最小采樣量（L）

潔凈度等級	粒     徑（μm）
	0.1	0.2	0.3	0.5	1.0	5.0
1	2000	8400	—	—	—	—
2	200	840	1960	5680	—	—
3	20	84	196	568	2400	—
4	2	8	20	57	240	—
5	2	2	2	6	24	680
6	2	2	2	2	2	68
7	—	—	—	2	2	7
8	—	—	—	2	2	2
9	—	—	—	2	2	2

b、每個采樣點的最少采樣時間為1min,采樣量至少為2L。

c、每個潔凈區最少采樣次數為3次，當潔凈區僅有一個采樣點時，則在該點至少采樣3次。

d、對預期空氣潔凈度等級達到4級或更潔凈的環境，采樣量很大，可采用ISO14644-1附錄F規定的順序采樣法。

（3）技術要求

    ①每個采樣點的平均粒子濃度Ci應小于或等于潔凈度等級規定的限值，見下表

潔凈度等級及懸浮粒子濃度限值

潔凈度 等  級	大于或等于表中粒徑D的最大濃度Cn（pc/m3）
	0 .1μm	0 .2μm	0 .3μm	0 .5μm	1 .0μm	5.0μm
1	10	2	-	-	-	-
2	100	24	10	4	-	-
3	1000	237	102	35	8	-
4	10000	2370	1020	352	83	-
5	100000	23700	10200	3520	832	29
6	1000000	237000	102000	35200	8320	293
7	-	-	-	352000	83200	2930
8	-	-	-	3520000	832000	29300
9	-	-	-	35200000	8320000	293000
注：1本表僅表示了整數值的潔凈度等級（N）懸浮粒子最大濃度的限值。 2對于非整數潔凈度等級，其對應于粒子粒徑D（μm）的最大濃度值（Cn），應按下列公式計算求取。 Cn=10N×（0.1/D）2.08 3潔凈度等級定級的粒徑范圍為0.1-5.0μm，用于定級的粒徑數不應大于3個，且其粒徑有順序級差不應小于1.5倍。

②全部采樣點的平均粒子濃度N的95%置信上限值，應小于或等于潔凈等級規定的限值。即：（N+t×S/）≤級別規定的限值

式中：N——室內各測點平均含塵濃度，N=∑Ci/n；

n——測點數

S——室內各測點平均含塵濃度N的標準差：S=

t——置信度上限為95%時，單側t分布的系數，見下表

                  t系數

點  數	2	3	4	5	6	7-9
t	6.3	2.9	2.4	2.1	2.0	1.9

（4）操作過程及判定

①  儀器開機后，預熱至穩定后，方可按照使用說明書的規定對儀器進行校正。（自檢、自校、零計數）

②  采樣管口置采樣點采樣時，在確認計數穩定后方可開始連續讀數。

采樣管必須干凈，嚴禁滲漏。采樣管的長度應根據儀器的允許長度。除另有規定外，長度不得大于1.5 m。計數器采樣口和儀器的工作位置應處在同一氣壓和溫度下，以免產生測量誤差。

④對于單向流潔凈室，采樣口應對著氣流方向，對于亂流潔凈室，采樣口宜向上，采樣速度均應盡可能接近室內氣流速度。

⑤記錄數據評價。空氣潔凈度測試中，當全室（區）測點為2-9點時，必須計算每個采樣點的平均粒子濃度Ci值、全部采樣點的平均粒子濃度N及其標準差，導出95%置信上限值；采樣點超過9點時，可采用算術平均值N作為置信上限值。

（5）潔凈室空氣中懸浮粒子檢測采樣時，應注意以下問題

① 靜態測試時，室內的測試人員不得多于2人，測試報告中應標明測試時所采用的狀態。

②對于單向流，測試應在凈化空氣調節系統正常運行時間不少于10min后開始，非單向流要不少于30min后開始。

 ③必須按照儀器的檢定周期，定期對儀器作檢定。（視儀器本身特點、使用頻率、使用環境等決定。）

④每個采樣點可按所計算確定的最小采樣量采樣空氣。但一般根據所使用的粒子計數器的采樣量及時間設定，通常實際采樣都可能高于最小采樣量。

⑤測定時進入潔凈室的人員要穿潔凈服，（有風淋室要經過風淋），在室內盡量處于下風處并靜止少動。

5、室內浮游菌和沉降菌

空氣中懸浮微生物的測定有多種，但其測定的基本過程都是經過捕集、培養、計數的過程，目前采用的是浮游菌和沉降菌的測試方法。

（1）儀器設備及環境

測量儀器：培養皿、離心式微生物采樣器、恒溫培養箱。

環境溫度：

浮游菌、沉降菌測試前被測試潔凈室（區）的溫濕度須達到規定的要求，靜壓差必須控制在規定值內。被測試潔凈室（區）已消毒。采樣裝置采樣前的準備及采樣后的處理，均應在高效過濾器排風的負壓實驗室進行操作，該實驗室的溫度應為22±2℃；相對濕度應為50%±10%。

測試狀態有靜態和動態兩種，并在報告中注明測試狀態。測試人員：測試人員必須穿戴符合環境潔凈度級別的工作服。靜態測試時，室內測試人員不得多于2個人。

（2）采樣點的位置及數量

室內浮游菌測點和潔凈度測點可相同，采樣必須按所用儀器說明書說明的步驟進行，特別要注意檢測之前對儀器消毒滅菌。

沉降菌測定時，培養皿應布置在有代表性的地點和氣流擾動極小的地點，培養皿數可與下表確定的采樣點數相同，但培養皿最少數量應滿足下表的規定。

                                最少培養皿數

潔凈度級別	培養皿數
<5	44
5	14
6	5
≥7	2

（3）技術要求

室內浮游菌和沉降菌應符合設計要求。

（4）操作過程及判斷

①浮游菌的測試

a、首先應對測試儀器、培養皿表面進行嚴格消毒，采樣器進入被測房間時先用消毒房間的消毒劑滅菌。用于5級潔凈房間的采樣器宜一直放在潔凈房間，用消毒劑測試培養皿的外表面，把采樣器的頂蓋、轉盤及罩子內外面消毒干凈，采樣口及采樣管在使用前必須高溫滅菌，

b、采樣者應穿戴潔凈服，雙手要消毒。

C、開動真空泵抽氣，使儀器中的殘余消毒劑蒸發，時間不少于5min,并調好流量，轉盤轉速。

關閉真空泵，放入培養皿，蓋好蓋子后調節采樣器。

d、置采樣口于采樣點后，依次開啟采樣器、真空泵、轉動定時器、根據采樣量選定采樣時間。

全部采樣結束后，將培養皿倒置于30--35℃恒溫培養箱中培養，時間不少于48h.

e、用肉眼直接計數，然后用5—10倍放大鏡檢查，是否有遺漏，若平板上有兩個或兩個以上的菌落重疊，分辨時仍以兩個或兩個以上菌落計數。

②沉降菌的測試

對單向流，如5級凈化房間內及層流工作臺，測試應在凈化空調系統正常運行不少于10分鐘后開始。對非單向流，如7級、8級以上的凈化房間，測試應在凈化空調系統正常運行不少于30分鐘開始。

a、采樣方法：將已制備好的培養皿放置在預先確定的取樣點，打開培養皿蓋，使培養基表面暴露0.5小時，再將培養皿蓋上蓋后倒置。

b、培養：全部采樣結束，將培養皿倒置于恒溫培養箱中培養。在30～35℃培養，時間不少于48小時。每批培養基應有對照試驗，檢查培養基本身是否污染，可每批選定3只培養皿作對照培養。

c、菌落計數：用肉眼直接計數，然后用5～10倍放大鏡檢查，有否遺漏。若培養皿上有2個或2個以上菌落重疊，可分辨時仍以2個或2個以上的菌落計數。

（5）注意事項

①測試用具要做滅菌處理，以確保測試的可靠性、正確性。

 ②采取一切措施防止人為對樣本的污染。

③對培養基、培養條件及其他參數作詳細的記錄。

④由于細菌種類繁多，差別甚大，計數時一般用透射光于培養皿背面或正面仔細觀察，不要漏計培養皿邊緣生長的菌落，并須注意細菌菌落與培養基沉淀物的區別，必要時用顯微鏡鑒別。

 ⑤采樣前應仔細檢查每個培養皿的質量，如發現變質、破損或污染的應剔除。 

6、室內空氣溫度和相對濕度

（1）儀器設備及環境

常用的儀器設備有：干濕球溫度計、數字式溫濕度計、水銀溫度計等。

                       儀器設備環境及取樣點數

波動范圍	測定儀器	測點數量
溫度（Δt）<0.5℃	用小量程溫度自動記錄儀或0.01℃刻度的水銀溫度計	測點間距為0.5～2.0m，每個房間測點不應少于20個，測點距墻大于0.5m,單向流潔凈室大于0.2m
相對濕度（ΔRH）<±5%	氯化鋰溫濕度計
Δt=±5℃～≤±2℃	用0.1℃刻度水銀溫度計	面積≤50m2,測5點，>50 m2時，每增加20～50 m2，增加3～5個點
ΔRH=±0.5%～≤±10%	用0.2℃刻度通風干濕球溫度計
Δt>±2℃	用0.2℃刻度水銀溫度計	潔凈室面積≤50m2時，測1點，當>50 m2時，每增加20～50 m2，增加1個點
ΔRH>±10%	用通風干濕球溫度計

室內空氣溫度和相對濕度測定以前，凈化空調系統應已連續運行至少24小時。

（2）測點的布置與數量：測點數見上表。

（3）技術要求

①無恒溫要求的場所，溫濕度指標應符合設計要求。

②有恒溫恒濕要求的場所：室溫波動范圍按各測點的各次溫度中偏離控制點溫度的最大值，占測點總數的百分比整理成累積統計曲線，90%以上測點達到的偏差值為室溫波動范圍，應符合設計要求。區域溫度以各測點中最低的一次溫度為基準，各測點平均溫度與其偏差值的點數，占測點總數的百分比整理成累積統計曲線，90%以上測點所達到的偏差值為區域溫差，應符合設計要求。

相對濕度波動范圍可按室溫波動范圍的原則確定。

（4）操作過程及判定

①根據設計要求和潔凈度等級確定工作區，并在工作區內布置測點，潔凈度房間離圍護結構0.5m,離地0.5-1.5m處為工作區。

②根據溫濕度波動范圍要求，潔凈室宜連續要求8～48小時，每次讀數間隔不大于30min.

③對沒有恒溫要求的房間，溫濕度可測定房間中心一個點。

7、單相流潔凈室截面平均速度、速度不均勻

（1）儀器設備及環境

儀器設備：熱球風速儀。

環境溫度：常溫或設計溫度下。

（2）抽樣：對于單向流潔凈室，截面平均風速都要測試。潔凈度高于5級的單向流潔凈室截面風速不均勻度都要求檢測，潔凈度等級為5級的單向流潔凈室在設計有要求時檢測。

（3）技術條件

①實測室內平均風速應大于設計風速，但不應超過20%。

②風速不均勻度按下式計算，結果應不大于0.25

βv=

式中βv－風速不均勻度

vi－任一點實測風速

－平均風速

n－測點數

（4）操作過程及判定

①測定截面、測點數和測定儀器應符合風量或風速的測試中單向流（層流）潔凈室的規定。

②測定風速宜用測定架固定風速儀以避免人體干擾，不得不手持風速儀測定時，手臂應伸直至最長位置，使人體遠離測頭。

8、室內噪聲

（1）儀器設備和環境：

儀器設備：測噪聲儀器為帶信頻程分析儀的聲級計。

環境溫度：常溫或設計溫度下。

（2）抽樣：對有噪聲設計要求的各個場所分別測定。

（3）技術要求

室內噪聲級應符合《潔凈廠房設計規范》GB50073-2001的規定。在空態情況下，非單相流潔凈室不應大于60dBA,單向流、混合流潔凈室不應大于65dBA,潔凈室的噪聲頻譜限制的各頻帶的聲壓級值不應大于《潔凈廠房設計規范》GB50073-2001表4.4.2的規定。

（4）操作過程及判定

①測噪聲儀器為帶信頻程分析儀的聲級計，一般只測A聲級的數值。必要時測倍頻程聲壓級。

②潔凈室面積在15 m2以下時，可在室中心位置測量房間噪聲，大于15 m2時，一般按5個測點采樣，除房間兩對角線相交的室中心位置外，另在房間四角對角線上對稱的選取4點，如下圖所示，測點高度一般距地面1.1m。